淄博高新區：聚力創“芯” 智造未來
來源：未知 日期：2019-04-30 點擊：次
“MEMS產業本身就是信息產業的一個重要發展方向，也是傳感器和智能微系統行業顛覆性技術。淄博市、高新區和清華大學選擇MEMS行業進行投資和開發，經過幾年努力已經開花結果。”中國工程院院士、清華大學副校長尤政在接受記者采訪時表示。
MEMS是(shi)什么？它集(ji)中(zhong)了當今(jin)科技(ji)發(fa)展(zhan)的(de)諸多尖端成果，在智(zhi)能(neng)(neng)(neng)化(hua)“感知”時代，MEMS以(yi)其體(ti)積小、功耗低、靈敏度高等優點，成為智(zhi)能(neng)(neng)(neng)傳感的(de)核(he)心交(jiao)互器件，廣泛應用(yong)于(yu)國防軍(jun)事、現代工業、民用(yong)消費(fei)類電子(zi)、汽車電子(zi)、可穿(chuan)戴可植(zhi)入醫療(liao)等領域，是(shi)繼(ji)微電子(zi)之后又一個對國計(ji)民生(sheng)具有重要影響的(de)顛覆性技(ji)術(shu)，也是(shi)信(xin)息化(hua)、智(zhi)能(neng)(neng)(neng)化(hua)的(de)關(guan)鍵(jian)核(he)心技(ji)術(shu)，擁有非常廣闊的(de)應用(yong)前景。
高新區準確(que)捕(bu)捉到這一智能產(chan)業(ye)(ye)的發展趨勢(shi)，與(yu)清華大學(xue)(xue)機械工程學(xue)(xue)院(yuan)(yuan)成(cheng)立(li)國家高新區MEMS研(yan)究(jiu)院(yuan)(yuan)。該(gai)研(yan)究(jiu)院(yuan)(yuan)是微機電制造領域(yu)國內首家校地共(gong)建(jian)的研(yan)究(jiu)院(yuan)(yuan)，借助(zhu)清華大學(xue)(xue)在MEMS領域(yu)的科研(yan)和(he)人(ren)才(cai)優(you)勢(shi)，依托淄博集成(cheng)電路產(chan)業(ye)(ye)基礎(chu)和(he)政策優(you)勢(shi)，共(gong)同搭建(jian)具(ju)有國際(ji)先(xian)進水平的6英寸硅基MEMS中試代(dai)工平臺、著力打造國家級微系統產(chan)業(ye)(ye)化基地、引領國內MEMS器件產(chan)業(ye)(ye)化進程，實現電子信息產(chan)業(ye)(ye)的跨越式發展。
2018年3月(yue)，首(shou)(shou)屆中國(淄博(bo)(bo))MEMS產業(ye)戰(zhan)略高(gao)(gao)(gao)峰論壇在我市舉行。期間，高(gao)(gao)(gao)新區(qu)MEMS研(yan)(yan)究院(yuan)(yuan)自(zi)主(zhu)研(yan)(yan)發的(de)(de)(de)MEMS陀(tuo)螺(luo)(luo)、加速度計(ji)、繼電器等(deng)產品正(zheng)式下(xia)線(xian)。MEMS陀(tuo)螺(luo)(luo)和(he)(he)MEMS加速度計(ji)，廣(guang)泛應用于軍用和(he)(he)民用的(de)(de)(de)慣性(xing)(xing)產品領域，例如(ru)無人機、無人艦、自(zi)動(dong)駕駛汽車、手機以及所(suo)有(you)可移動(dong)設備的(de)(de)(de)導航功能(neng)(neng)；MEMS繼電器是極其微(wei)小的(de)(de)(de)開(kai)關(guan)陣列，一個小拇指的(de)(de)(de)指甲(jia)上就能(neng)(neng)擺放4個，具有(you)高(gao)(gao)(gao)靈敏度和(he)(he)高(gao)(gao)(gao)可靠性(xing)(xing)，在智能(neng)(neng)手機、汽車、現代工(gong)業(ye)等(deng)領域普遍(bian)使用。研(yan)(yan)究院(yuan)(yuan)在研(yan)(yan)的(de)(de)(de)還(huan)有(you)MEMS微(wei)探(tan)針(zhen)，是原子力顯微(wei)鏡的(de)(de)(de)最重要核心(xin)部(bu)件，目前國內(nei)(nei)所(suo)有(you)的(de)(de)(de)原子力顯微(wei)鏡探(tan)針(zhen)完全依賴進口，微(wei)探(tan)針(zhen)的(de)(de)(de)國產化(hua)，將(jiang)大幅降低采購成(cheng)本，打破(po)國外(wai)壟斷，實(shi)現又(you)一項MEMS關(guan)鍵產品的(de)(de)(de)自(zi)主(zhu)研(yan)(yan)發。去年5月(yue)，高(gao)(gao)(gao)新區(qu)MEMS研(yan)(yan)究院(yuan)(yuan)承擔的(de)(de)(de)“MEMS產業(ye)研(yan)(yan)究院(yuan)(yuan)”項目通過(guo)山東省(sheng)科(ke)(ke)技廳(ting)、淄博(bo)(bo)市科(ke)(ke)技局(ju)、高(gao)(gao)(gao)新區(qu)科(ke)(ke)技局(ju)的(de)(de)(de)聯合專家組驗收，項目實(shi)施期間獲(huo)得首(shou)(shou)批市高(gao)(gao)(gao)新技術創新“雙十計(ji)劃”立項。“目前，研(yan)(yan)究院(yuan)(yuan)已建(jian)成(cheng)國內(nei)(nei)首(shou)(shou)家MEMS專業(ye)化(hua)中試(shi)代工(gong)平臺，可為淄博(bo)(bo)本地乃至省(sheng)內(nei)(nei)外(wai)客戶(hu)提(ti)供MEMS仿真設計(ji)、小試(shi)、中試(shi)以及代工(gong)服務。”高(gao)(gao)(gao)新區(qu)MEMS研(yan)(yan)究院(yuan)(yuan)科(ke)(ke)技管理部(bu)部(bu)長(chang)劉通說。
記(ji)者在MEMS研究院投資組(zu)建的國(guo)(guo)有控股公司(si)(si)(si)——山東(dong)博華電子科技發展(zhan)有限(xian)公司(si)(si)(si)的生產基地(di)時看(kan)到，企業廠(chang)房(fang)面(mian)積5000平(ping)方米(mi)，分環境潔(jie)凈區(qu)、動力區(qu)、辦公區(qu)等(deng)。潔(jie)凈面(mian)積1540平(ping)方米(mi)，百級區(qu)340平(ping)方米(mi)、千(qian)級區(qu)400平(ping)方米(mi)，萬級區(qu)800平(ping)方米(mi)，超凈規(gui)模國(guo)(guo)內領先(xian)。擁有德國(guo)(guo)SUSS公司(si)(si)(si)光刻(ke)機(ji)(ji)、奧德利(li)EVG公司(si)(si)(si)鍵合機(ji)(ji)、英(ying)國(guo)(guo)SPTS公司(si)(si)(si)深硅刻(ke)蝕機(ji)(ji)等(deng)國(guo)(guo)際一流6英(ying)寸微納米(mi)技術制造(zao)設備(bei)，產品的測試環境也(ye)居國(guo)(guo)內先(xian)進水平(ping)。
山東博華電子科(ke)(ke)技發展(zhan)有(you)限公(gong)司(si)(si)僅(jin)是高新區(qu)MEMS產業園(yuan)區(qu)所入駐的企業之一(yi)。整個(ge)園(yuan)區(qu)占地面(mian)積(ji)523畝，計(ji)劃總投(tou)資30億元，規劃建筑面(mian)積(ji)56萬平方米。目(mu)前，同(tong)方股份有(you)限公(gong)司(si)(si)、臺灣點晶科(ke)(ke)技有(you)限公(gong)司(si)(si)、航天704所、中(zhong)國兵器集(ji)團公(gong)司(si)(si)、中(zhong)電集(ji)團55所、哈(ha)工大(da)電路設計(ji)公(gong)司(si)(si)等多家科(ke)(ke)研機構和企業已達成入駐意向。
未來，在繼續完善MEMS中試代工平臺的基礎上，延伸建設MEMS設計與開發、小試與中試、封裝與測試平臺，通過淄博國家高新區MEMS研究院的技術牽引，淄博將逐步建成國家級MEMS產業基地、軍民融合發展示范基地、產學研用全產業鏈核心共性技術協同創新平臺。可以預見，這一園區將打造成全球領先的國際化MEMS相關產業集群，最終建成集研發、試驗、檢測、生產、辦公、展示與交易一體的MEMS產業示范園。
