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珠海：力爭打造全國規模最大的光刻膠產業集群

來源：高新院 vwcr.cn 日期：2025-01-07 點擊：次

為推動珠(zhu)(zhu)海(hai)電(dian)子化(hua)學(xue)品(pin)產(chan)業(ye)的高(gao)質量發(fa)(fa)展和電(dian)子化(hua)學(xue)品(pin)產(chan)業(ye)園的高(gao)標準建設，近日珠(zhu)(zhu)海(hai)市(shi)工業(ye)和信息化(hua)局(ju)發(fa)(fa)布了(le)《珠(zhu)(zhu)海(hai)市(shi)電(dian)子化(hua)學(xue)品(pin)產(chan)業(ye)發(fa)(fa)展三年(nian)行(xing)動方案（2025—2027年(nian)）（征求意見(jian)稿）》（以(yi)下簡稱(cheng)“《行(xing)動方案意見(jian)稿》”）。

 

《行動方案意見稿》提(ti)到(dao)，力爭到(dao)2027年，培育50家以(yi)上新材料(liao)和電(dian)子化學(xue)品規(gui)上工業(ye)企業(ye)，電(dian)子化學(xue)品產(chan)業(ye)規(gui)模突破500億元，珠海經濟技術開發區化工園區產(chan)業(ye)集群規(gui)模達(da)到(dao)1500億元，成為全國重要的高端電(dian)子化學(xue)品研發、中(zhong)試(shi)、生產(chan)基(ji)地(di)之一。

 

珠(zhu)海將致力于發展(zhan)我國電子(zi)(zi)化(hua)學(xue)品(pin)“卡脖子(zi)(zi)”技術以及進口替代產(chan)品(pin)，支持引育一(yi)批掌握新(xin)(xin)工藝、新(xin)(xin)技術的團隊或中小(xiao)型科技企業，推動產(chan)業鏈條(tiao)向高附加值領域攀升。未來將重點發展(zhan)半導體集成電路(lu)及分(fen)立(li)器件用(yong)(yong)(yong)電子(zi)(zi)化(hua)學(xue)品(pin)、印制(zhi)線路(lu)板用(yong)(yong)(yong)電子(zi)(zi)化(hua)學(xue)品(pin)、新(xin)(xin)型顯示用(yong)(yong)(yong)電子(zi)(zi)化(hua)學(xue)品(pin)、新(xin)(xin)能源用(yong)(yong)(yong)電子(zi)(zi)化(hua)學(xue)品(pin)等。

 

其中，在(zai)發(fa)展半導(dao)體集成電(dian)路及分立器件用電(dian)子化(hua)(hua)學(xue)品領域(yu)，珠海(hai)將重(zhong)點發(fa)展8英寸(cun)、12英寸(cun)硅片(pian)，碳化(hua)(hua)硅、氮化(hua)(hua)鎵(jia)、磷化(hua)(hua)銦(yin)等新一(yi)代(dai)化(hua)(hua)合物半導(dao)體襯底(di)材料及外延片(pian)；前(qian)瞻(zhan)布(bu)局氧化(hua)(hua)鎵(jia)、銻化(hua)(hua)鎵(jia)、銻化(hua)(hua)銦(yin)等第(di)四(si)代(dai)半導(dao)體材料；勻膠(jiao)鉻版(ban)光(guang)(guang)掩模(mo)版(ban)，KrF、ArF移項光(guang)(guang)掩模(mo)版(ban)，前(qian)瞻(zhan)布(bu)局深紫外光(guang)(guang)（DUV）掩膜版(ban)；同時聚焦目前(qian)國(guo)產化(hua)(hua)率較(jiao)低、市場需求較(jiao)大的(de)高端(duan)KrF、ArF深紫外線（DUV）光(guang)(guang)刻膠(jiao)，力爭打造全國(guo)規(gui)模(mo)最大、技術最先進(jin)的(de)光(guang)(guang)刻膠(jiao)產業(ye)集群。

 

此(ci)外，珠海還將緊盯“超摩爾時代”技術(shu)進步趨勢，聚焦2.5D/3D集成與封(feng)(feng)裝、芯粒(li)技術(shu)（Chiplet）、異質集成先(xian)進封(feng)(feng)裝等先(xian)進封(feng)(feng)裝工(gong)藝配套需求，重點發(fa)展透明脂環(huan)族(zu)環(huan)氧(yang)樹(shu)脂、有機(ji)硅或有機(ji)硅改性樹(shu)脂、高(gao)純超凈BT樹(shu)脂、ABF樹(shu)脂（味之素堆(dui)積膜）、聚苯硫(liu)醚、光敏聚酰亞胺（PSPI）等有機(ji)封(feng)(feng)裝材料；氧(yang)化(hua)鋁、氧(yang)化(hua)鋯、氮化(hua)鋁等無機(ji)高(gao)性能陶瓷封(feng)(feng)裝材料；晶圓載板(ban)、底部填充材料、電鍍焊球(qiu)、印刷涂料等其他(ta)先(xian)進封(feng)(feng)裝材料。



 

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珠海：力爭打造全國規模最大的光刻膠產業集群

2025-01-07 來源:高新院 vwcr.cn 點擊:次

為推(tui)動珠(zhu)海(hai)電(dian)子(zi)化學品產業(ye)的高(gao)質(zhi)量發(fa)(fa)展和電(dian)子(zi)化學品產業(ye)園(yuan)的高(gao)標準建(jian)設(she)，近(jin)日(ri)珠(zhu)海(hai)市工業(ye)和信(xin)息(xi)化局發(fa)(fa)布了《珠(zhu)海(hai)市電(dian)子(zi)化學品產業(ye)發(fa)(fa)展三年行動方(fang)案(an)（2025—2027年）（征求(qiu)意見稿(gao)）》（以下簡稱“《行動方(fang)案(an)意見稿(gao)》”）。

 

《行動方案意見稿》提(ti)到，力爭(zheng)到2027年(nian)，培(pei)育50家以上新(xin)材(cai)料和電(dian)子化學(xue)品規(gui)上工業(ye)企業(ye)，電(dian)子化學(xue)品產業(ye)規(gui)模(mo)突破(po)500億元，珠海經(jing)濟技(ji)術開發區化工園區產業(ye)集群規(gui)模(mo)達(da)到1500億元，成為全國重要的(de)高端(duan)電(dian)子化學(xue)品研發、中試(shi)、生產基(ji)地之(zhi)一。

 

珠海將致(zhi)力(li)于發(fa)展(zhan)我國電子化(hua)學(xue)品(pin)“卡脖子”技術(shu)以及進口替代產品(pin)，支持(chi)引育(yu)一批掌握新工藝、新技術(shu)的團隊或中小型科技企業(ye)，推動產業(ye)鏈條向高附加值(zhi)領(ling)域攀升。未(wei)來將重點(dian)發(fa)展(zhan)半(ban)導體(ti)集成電路(lu)及分立器件(jian)用(yong)(yong)電子化(hua)學(xue)品(pin)、印制線路(lu)板用(yong)(yong)電子化(hua)學(xue)品(pin)、新型顯示用(yong)(yong)電子化(hua)學(xue)品(pin)、新能源用(yong)(yong)電子化(hua)學(xue)品(pin)等。

 

其中，在(zai)發展(zhan)半(ban)導(dao)(dao)體集(ji)成電路及分立(li)器件用電子化(hua)學(xue)品(pin)領域，珠(zhu)海將重點(dian)發展(zhan)8英寸(cun)、12英寸(cun)硅(gui)(gui)片(pian)，碳化(hua)硅(gui)(gui)、氮化(hua)鎵、磷化(hua)銦等新一代化(hua)合物半(ban)導(dao)(dao)體襯底材料及外(wai)(wai)延片(pian)；前瞻布局(ju)氧化(hua)鎵、銻化(hua)鎵、銻化(hua)銦等第四代半(ban)導(dao)(dao)體材料；勻(yun)膠(jiao)(jiao)鉻版光(guang)掩(yan)模(mo)(mo)版，KrF、ArF移項光(guang)掩(yan)模(mo)(mo)版，前瞻布局(ju)深(shen)紫(zi)外(wai)(wai)光(guang)（DUV）掩(yan)膜版；同時聚焦目前國產(chan)化(hua)率較(jiao)低、市場需(xu)求(qiu)較(jiao)大的高端KrF、ArF深(shen)紫(zi)外(wai)(wai)線（DUV）光(guang)刻膠(jiao)(jiao)，力(li)爭打造全國規模(mo)(mo)最(zui)大、技術最(zui)先(xian)進的光(guang)刻膠(jiao)(jiao)產(chan)業(ye)集(ji)群。

 

此外，珠海還將緊盯(ding)“超(chao)摩爾時代”技(ji)術(shu)進(jin)步趨勢，聚焦2.5D/3D集成與封(feng)(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)、芯粒技(ji)術(shu)（Chiplet）、異質集成先進(jin)封(feng)(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)等先進(jin)封(feng)(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)工(gong)藝配套需(xu)求，重(zhong)點發展透(tou)明脂(zhi)環族環氧樹脂(zhi)、有(you)(you)(you)機(ji)硅(gui)或有(you)(you)(you)機(ji)硅(gui)改性(xing)樹脂(zhi)、高純超(chao)凈BT樹脂(zhi)、ABF樹脂(zhi)（味(wei)之素堆積膜）、聚苯硫(liu)醚、光敏聚酰(xian)亞胺（PSPI）等有(you)(you)(you)機(ji)封(feng)(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)材(cai)料(liao)(liao)；氧化鋁、氧化鋯、氮化鋁等無機(ji)高性(xing)能陶瓷封(feng)(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)材(cai)料(liao)(liao)；晶(jing)圓載板、底部填充材(cai)料(liao)(liao)、電鍍(du)焊球(qiu)、印刷涂料(liao)(liao)等其他先進(jin)封(feng)(feng)(feng)裝(zhuang)(zhuang)材(cai)料(liao)(liao)。